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氮气柜技术参数
内腔尺寸W600mm×D600mm×H600mm
材质外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢
温度范围RT+10-300℃
温度分辨率0.1℃
温度波动度＜±0.5℃
温度均匀度≤±1.5%
洁净度class100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
电源及总功率AC380V±10%/50HZ总功率约15.0KW
升温速度5-8℃/min
降温速度降温5℃/min或自定义
氧含量
高温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量
低温状态氧含量：≤50ppm+气源氧含量
氮气柜概述
无氧化烤箱箱体内装有氧含量分析仪，全称检测氧含量，可设置超标报警功能。排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量。
翅片式水冷散热器，冷却水通过散热器快速带走更多的热量，使得箱内温度快速下降，缩短降温时间，提高生产效率。
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氮气柜