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易度微流量流量计基于内部补偿型*层流压差技术，产品z小满量程0.5sccm，测量流量范围为5uL~500uL，更小流量需定制。可快速精确测量过程气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。用于精确和快速测量气体流量、泄露率检测等。
特征：
l 原理：层流压差式原理
l 便捷操作：可触屏点击操作、读取流量，或者提供上位机软件操作。
l 核心优势：高精度、高重复性、快速响应
l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内
l 实时显示5种过程变量
l 内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体
l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。
产品规格：
l 产品型号：
l 量程范围：0.5sccm~5000slpm
性能参数：
l 精度：±1.0%RD
l 重复精度：±0.2%F.S.
l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))
l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）
l 工作范围：1%~120%F.S.
l 响应时间：≤100ms.
l 启动预热时间：1s
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